ESS 氦質譜檢漏儀在真空驗證中的應用

氦質譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

氦氣作為惰性氣體，不會腐蝕設備，且在容器環境和質譜環境中干擾較少，信號較純，因而

常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調整到僅對氦氣反應的工作狀態的氣體

分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量

大小。

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀

器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。

以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例

Epichem (Epichem Limited,特殊氣體分部) 要求 ESS 設計并建造了一套檢測系統, 用于泵壓、

烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測以及有機金屬起泡劑的制備氣認證。

起泡器 (過去常用于向半導體工業提供有機金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進出閥。

由于具有高真空超潔凈的特點，因此起泡器在填充前要求相當的潔凈。同時，由于起泡器內

填充的是氧氣，避免泄漏發生爆炸也至關重要。

針對此應用，ESS 開發出了一種特殊的雙進樣端口的質譜系統，它具有一個經校準的正壓泄

漏測試模塊，還具有一個自動化的高真空測試模塊。

首先，將起泡器放置于平臺上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測

裝置“嗅辨”一下。任何檢測到的泄漏記錄與起泡器序列號一一對應，發生任何超過用戶設

置的zui大允許結果泄漏的起泡器都會被拒絕放行。

然后將起泡器安裝 10 個一排的裝置上，該裝置配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件*

控制下，外部管線抽真空并保持狀態，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時， 質譜系統

可以監測任何氦泄漏。

若通過泄漏測試，將起泡器抽真空、烘烤。測試結束時，質譜系統會自動分析起泡器和接頭

管線中的氣體。為保證測試結果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于 1 ppm。

測試結束時，會提醒操作人員，并顯示測試結果是通過還是拒絕，所有測試數據將會被記錄，

便于溯源。

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